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Manfred Bär (Hrsg.)

MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

(Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik - Automatisierungstechnik, Karlsruher Institut für Technologie ; 10)

AutorBär, Manfred (Hrsg.)

VerlagUniversitätsverlag Karlsruhe, Karlsruhe

ISBN3937300953

Veröffentlicht
am:
20.12.2005

Erscheinungs-
jahr
2006

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000003769

Abstract

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.