KIT Scientific Publishing

Im Shop suchen

40,00 €

inkl. 7 % USt. exkl. Versandkosten

Ansgar Waldbaur

Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 19)

AutorWaldbaur, Ansgar

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783731501190

UmfangXVI, 133 S.

Veröffentlicht
am:
28.11.2013

Erscheinungs-
jahr
2013

VerfügbarkeitAktiv

Downloads:

Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000036845

Abstract

In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.