KIT Scientific Publishing

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Felix Marschall

Entwicklung eines Röntgenmikroskops für Photonenenergien von 15 keV bis 30 keV

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 26)

AutorMarschall, Felix

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783731502630

UmfangIX, 126 S.

Veröffentlicht
am:
29.09.2014

Erscheinungs-
jahr
2014

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000043064

Abstract

Röntgenstrahlung wird in vielen Forschungsbereichen als Analysewerkzeug eingesetzt. Durch die Verwendung abbildender Linsen kann in der Röntgenvollfeldmikroskopie unabhängig von den Quelleigenschaften eine hohe Auflösung erreicht werden. Mit einer Objektivlinse mit 100 mm Brennweite kann bei 30 keV eine theoretische Auflösung von 60 nm erreicht werden. In Experimenten ist bei 17,4 keV und 30 keV bereits eine Auflösung von 200 nm über ein Bildfeld von 80 µm × 80 µm nachgewiesen worden.