KIT Scientific Publishing

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Jochen Heneka

Prozessentwicklung eines industrietauglichen Verfahrens zur Fertigung von vereinzelten LIGA-Mikrobauteilen

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 30)

AutorHeneka, Jochen

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783731503262

UmfangVII, 211 S.

Veröffentlicht
am:
02.04.2015

Erscheinungs-
jahr
2015

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000045013

Abstract

Diese Arbeit befasst sich mit der Entwicklung eines industrietauglichen Verfahrens, mit dem Ziel endkonturnahe, vereinzelte Mikrobauteile auf Basis der LIGA-Technik herzustellen. Diese Mikrobauteile sollen dazu beitragen neue innovative Ideen in erfolgreiche Produkte umzusetzen und auf dem Markt zu platzieren.