KIT Scientific Publishing

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Thomas Grund

Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 2)

AutorGrund, Thomas

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866444966

UmfangIX, 125 S.

Veröffentlicht
am:
01.06.2010

Erscheinungs-
jahr
2010

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000016593

Abstract

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.