KIT Scientific Publishing

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Mark Paravia

Effizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte

AutorParavia, Mark

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866445017

Umfang173 S.

Veröffentlicht
am:
31.05.2010

Erscheinungs-
jahr
2010

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000016885

Abstract

In der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abhängigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die nötige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsgerät verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.