KIT Scientific Publishing

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Sven Schüle

Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 3)

AutorSchüle, Sven

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866445291

Umfang176 S.

Veröffentlicht
am:
03.09.2010

Erscheinungs-
jahr
2010

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000018509

Abstract

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.