KIT Scientific Publishing

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Stephanie Kißling

Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 6)

AutorKißling, Stephanie

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866445482

UmfangII, 109 S.

Veröffentlicht
am:
03.09.2010

Erscheinungs-
jahr
2010

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000019375

Abstract

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.