KIT Scientific Publishing

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Daniel Auernhammer

Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem

(Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 11)

AutorAuernhammer, Daniel

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866448292

UmfangVI, 132 S.

Veröffentlicht
am:
15.05.2012

Erscheinungs-
jahr
2012

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000027008

Abstract

In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.