KIT Scientific Publishing

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Dominik Stöffler

Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

(Experimental Condensed Matter Physics ; 5)

AutorStöffler, Dominik

VerlagKIT Scientific Publishing, Karlsruhe

ISBN9783866448438

UmfangIV, 98 S.

Veröffentlicht
am:
14.06.2012

Erscheinungs-
jahr
2012

VerfügbarkeitAktiv

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Für Zitate bitte die folgende URL verwenden:
http://dx.doi.org/10.5445/KSP/1000027524

Abstract

In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.