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  • Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

    Sven Schüle

    Band 3 von Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie
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    Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.

    Umfang: 176 S.

    Preis: €37.00 | £34.00 | $65.00

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    Schüle, S. 2010. Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509
    Schüle, S., 2010. Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509
    Schüle, S. Modular Adaptive Mikrooptische Systeme in Kombination Mit Mikroaktoren. KIT Scientific Publishing, 2010. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509
    Schüle, S. (2010). Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509
    Schüle, Sven. 2010. Modular Adaptive Mikrooptische Systeme in Kombination Mit Mikroaktoren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509




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    Dieses Buch ist lizenziert unter Creative Commons Attribution + Noncommercial + NoDerivatives 3.0 DE Dedication

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    Weitere Informationen

    Veröffentlicht am 3. September 2010

    Sprache

    Deutsch

    Seitenanzahl:

    189

    ISBN
    Paperback 978-3-86644-529-1

    DOI
    https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509