TY - BOOK AU - Schüle, Sven PY - 2010 TI - Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren AB - Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.Umfang: 176 S.Preis: €37.00 | £34.00 | $65.00 PB - KIT Scientific Publishing CY - Karlsruhe KW - Mikrosystemtechnik KW - Interferometer KW - Mikroaktorik KW - modulare Mikrosysteme KW - LIGA-Mikrosysteme SN - 978-3-86644-529-1 DO - 10.5445/KSP/1000018509 SE - 189