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Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
Umfang: 176 S.
Preis: €37.00 | £34.00 | $65.00
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Schüle, S. 2010. Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren. Karlsruhe: KIT Scientific Publishing. DOI: https://doi.org/10.5445/KSP/1000018509
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Veröffentlicht am 3. September 2010
Deutsch
189
| Paperback | 978-3-86644-529-1 |